EUV 曝光 原理
2020年12月4日—EUV,全名為ExtremeUltraviolet,中文叫做「極紫外光」,是一種波長極短的紫外光,一般生活中要塗乳液防曬的紫外線波長約在100~400奈米,而極紫外光才 ...,2023年3月10日—簡單來說,當工程師規劃好晶圓上各區域的功能後,會將電路圖刻在石英片上面,...
摩爾定律的華麗謝幕:EUV微影機
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2020年10月22日—此機的概念是由中研院院士林本堅任職於台積電所提出的,原理上當光通過液體介質的時候,其速度會變慢,也就是波長會變短。因此若將被曝光的晶圓浸泡在 ...
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